原标题：中微半导体设备（上海）股份有限公司 关于2020年股票增值权激励计划第三个行权期行权结果公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 本次股票增值权行权数量：13.67万份

● 本次股票增值权不涉及实际股份，以公司A股普通股股票为虚拟标的

一、本次股票增值权归属的决策程序及相关信息披露

（1）2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法〉的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法〉的议案》等议案，公司监事会对激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

（2）2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法〉的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

（3）2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

（4）2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）〉及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）〉及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

（5）2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司〈2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）〉及其摘要的议案》等议案。

（6）2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《关于向激励对象授予股票增值权的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

（7）2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

（8）2023年4月13日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第二个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

（9）2023年8月24日，公司召开第二届董事会第十六次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第三个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

（10）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

二、本次股票增值权归属的基本情况

（一）归属数量：13.67万份。

（二）归属人数：6人。

（三）股票来源：不涉及实际股份，以公司A股普通股股票为虚拟标的。

（四）本次归属的股票增值权情况：

三、本次股票增值权行权日及买卖公司股票情况的说明

公司根据政策规定的行权窗口期，统一办理激励对象股票增值权行权手续，并将2023年11月14日确定为行权日。

根据公司自查参与本激励计划的董事、高级管理人员尹志尧，倪图强，陈伟文和刘晓宇在行权日前6个月存在买卖公司股票的行为，详见公司相关公告。

本次股票增值权不涉及实际股份，以公司A股普通股股票为虚拟标的。

四、股票增值权费用的核算及说明

本次归属的股票增值权数量为13.67万份，具体费用以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次股票增值权行权不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司

董事会

2023年11月16日

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