晶合集成申请晶圆运送系统专利，提高生产效率
金融界
2023-12-23 20:23:46
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金融界2023年12月23日消息，据国家知识产权局公告，合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶圆运送系统“，公开号CN117276159A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆运送系统。晶圆运送系统包括：晶圆处理装置，用于对待处理晶圆进行工艺处理；晶舟，用于承载晶圆；卸载装置，用于移出晶舟上经工艺处理后的晶圆；装载装置，与卸载装置在第一方向上并排设置，装载装置用于在卸载装置将工艺处理后的晶圆取出后，将待处理晶圆移入至空载的晶舟上。采用本申请所提供的晶圆运送系统能够提高生产效率。
来源：金融界
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