永鼎股份申请晶圆匀胶检测装置专利，能在一定程度上改变晶圆上涂胶离心不均的情况
金融界
2023-12-22 23:43:12
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金融界2023年12月22日消息，据国家知识产权局公告，江苏永鼎股份有限公司申请一项名为“一种晶圆匀胶检测装置“，公开号CN117259138A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，本发明属于晶圆检测技术领域，具体的说是一种晶圆匀胶检测装置，包括涂胶圆仓，所述涂胶圆仓的底面中心处开设有第一贯通孔，所述涂胶圆仓的内部第一贯通孔的外围开设有圆环轨道，所述第一贯通孔的内壁中心处开设有第一圆环槽，所述第一贯通孔的内壁贯有传动管，所述传动管的外壁固接有第一定位环，所述第一定位环的外壁与第一圆环槽的内壁相互卡合，所述传动管的一端固接有万向联轴器。本发明传动管为涂胶圆板提供旋转作用力的同时，能通过对涂胶圆板与传动管之间相对夹角调节在一定程度上改变晶圆上涂胶离心不均的情况，进而防止晶圆上涂胶涂覆完毕后由于涂胶质量不达标导致的晶圆的生产效率降低的情况发生。
来源：金融界
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